气相沉积参数记录规范.docxVIP

气相沉积参数记录规范

气相沉积参数记录规范

一、工艺基础信息与设备环境参数的记录要求

（1）样品与基底基础信息的记录规范。气相沉积实验或生产过程中，每一批次乃至每一片基片的原始信息是参数追溯的首要环节，必须在记录表中完整登记。具体应包含：记录日期与时间（精确到分钟）、批次编号或晶圆编号（按厂内或实验室内唯一编码规则）、操作人员姓名及工号、基底材料种类（如单晶硅〈100〉晶向、石英玻璃、蓝宝石、不锈钢、PET柔性基底等）、基底尺寸（如4英寸、6英寸、8英寸圆片或50毫米×50毫米方片）、基底编号或来源批号、基底表面预处理方式（如经丙酮—乙醇—去离子水超声清洗各十五分钟、经piranha溶液清洗