ISO 21360-12020 真空技术 - 测量真空泵性能的标准方法 - 第1部分一般描述标准立项发展报告.docx

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真空技术-测量真空泵性能的标准方法-第1部分：一般描述标准立项发展报告

英文标题：StandardizationDevelopmentReport:Vacuumtechnology—Standardmethodsformeasuringvacuum-pumpperformance—Part1:Generaldescription

摘要

本报告旨在系统阐述ISO21360-1:2020《真空技术-测量真空泵性能的标准方法-第1部分：一般描述》标准的立项背景、发展历程、核心内容及其对真空技术领域的重要影响。随着超大规模集成电路、平板显示、新能源