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气相沉积防护装备使用规范

气相沉积防护装备使用规范

一、个人防护装备的分类配置与选型要求在气相沉积作业中的具体应用

（1）躯体防护装备的选型与适用场景要求。气相沉积作业包括化学气相沉积即CVD、物理气相沉积即PVD、等离子增强化学气相沉积即PECVD、原子层沉积即ALD等多种工艺类型，作业过程中存在高温腔体表面、腐蚀性前驱体气体如氯化氢、三氯化硼、硅烷、磷烷、砷烷以及金属有机源如三甲基镓、二乙基锌等的泄漏飞溅或吸附渗透风险，因此躯体防护装备必须根据工艺危害等级分级配置。日常常规巡检及非接触性操作时，操作人员应穿戴符合GB12014标准的防静电实验服或洁净区专用连体洁净服，面料表面电阻应控制