半导体清洗制程专业考试题(含详细答案).docx

半导体清洗制程专业考试题(含详细答案).docx

半导体清洗制程专业考试题(含详细答案)

考试说明:本试卷适用于半导体晶圆清洗、制程工艺操作人员、质检及技术员考核。满分100分,考试时间90分钟,题型包含选择题、判断题、简答题、工艺分析题,内容贴合量产现场实操标准。

姓名:__________工号:__________得分:__________

一、单项选择题(每题2分,共20分)

1.半导体清洗工艺的核心目的是去除晶圆表面的污染物,以下不属于晶圆表面主要污染物的是()

A.颗粒杂质B.有机油污C.基底硅原子D.金属离子残留

2.半导体量产中最常用的标准清洗工艺是()

A.RCA清洗B.超声波

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