SJT 12052-2025 电子级乙硅烷标准立项发展报告.docx

电子级乙硅烷标准立项发展报告

英文标题：StandardizationDevelopmentReport:ElectronicGradeDisilane

摘要：

关键词：电子级乙硅烷；半导体材料；电子特气；行业标准；前驱体；化学气相沉积；纯度分级；标准立项

Keywords:ElectronicGradeDisilane;SemiconductorMaterial;ElectronicSpecialtyGas;IndustryStandard;Precursor;ChemicalVaporDeposition(CVD);PurityClassifi