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气浮轴承平台的供气压力自适应调节与微振动抑制

摘要

随着精密制造与半导体装备对运动精度的要求迈向纳米量级，气浮轴承平台因其零摩擦、高洁净的特性成为精密运动系统的核心支撑单元。然而，传统气浮平台在变负载工况下气膜厚度波动显著，供气系统引发的微振动直接制约平台动态性能。

本课题以建立气膜刚度模型为基础，提出一种供气压力自适应调节策略，旨在实现气膜厚度的恒定控制与微振动抑制。设计目标包括：气膜厚度稳态误差控制在±0.5μm以内，微振动加速度幅值低于0.02g，阶跃负载下恢复时间小于80ms。

论文按照“建模分析→调节器设计→仿真验证→实验测试”的工程递进思路展开。首先建立考虑可压缩性、节流器结构与气腔效应的气膜刚度模型，揭示供气压力与气膜厚度之间的非线性映射关系。其次设计基于模糊PID的压力自适应调节器，将负载变化映射为最优供气压力给定值，并引入振动反馈内环以衰减微振动能量。随后搭建仿真平台验证调节算法，最后在精密气浮平台上完成综合性能测试。

核心创新点在于将气膜厚度控制与微振动抑制统一于供气压力调节框架内，通过双闭环控制结构实现刚度补偿与阻尼增强的协同优化。测试结果表明，本方案使平台在变负载工况下气膜厚度波动降低62%，振动幅值减小45%，显著提升了平台平稳性。

关键词：气浮轴承；气膜刚度；压力自适应调节；微振动抑制；模糊PID控制

第一章绪论

1.1研究背景