CN119937937A 一种半导体设备采集数据智能存储方法 （深圳市华和泰实业有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119937937A

(43)申请公布日2025.05.06

(21)申请号202510429178.6

(22)申请日2025.04.08

(71)申请人深圳市华和泰实业有限公司

地址518100广东省深圳市宝安区松岗街

道溪头社区沙江路162号佳裕环保厂1

栋403

(72)发明人杨芷炎张特杨家乐张兴峰

(74)专利代理机构西安天创芝迈知识产权代理事务所(普通合伙)61330

专利代理师高春媛

(51)Int.Cl.

G06F3/06(2006.01)

G06F18/2433(2023.01)

G06F123/02(2023.01)

H03M7/30(2006.01)

权利要求书3页说明书9页附图1页

(54)发明名称

一种半导体设备采集数据智能存储方法

(57)摘要

CN119937937A本发明涉及数据处理技术领域，具体涉及一种半导体设备采集数据智能存储方法，包括：对时序数据序列进行分段处理，根据每个时间段内的数据变化趋势在时序数据序列中的趋势异常特征和每个时间段内数据周期的异常特征，确定每个时间段内数据的初始异常程度；根据每个时间段内存在真正异常数据的可能性和每个时间段内数据的初始异常程度，确定每个时间段内数据的精准异常程度；根据