如果要用He模式,需要提前用He气吹扫气体管路。一般时间为2小时以上。最好是今天下班前吹扫,明天再来用。
具体做法,选择调谐界面Tune菜单下的ReactionGas,在弹出的窗口中输入He气流量为7,点击Enter。保持窗口处于打开状态,过夜。(如果点击OK关闭了窗口,则输入的气体流量无效)
第二天再看He模式的调谐结果。
否则长时间不用时,He管路中混有杂质气体,将极大地影响结果,造成没有信号响应。
调出工程师安装时的He调谐文件后,注意对比一下Torch位
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