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面向MEMS器件的基于形状记忆合金(SMA)的微夹钳闭锁与柔性夹持机构设计

摘要

微机电系统(MEMS)器件的装配正朝着高精度、高可靠性与微型化方向快速发展，传统微夹持工具在夹持力可控性、抓取稳定性与操作安全性方面面临严峻挑战。本课题针对MEMS微零件易损、尺寸微小且形状各异的特点，设计一种基于形状记忆合金(SMA)驱动的微夹钳闭锁与柔性夹持机构，利用SMA材料的相变超弹性效应与形状记忆效应，实现夹持力的柔性调节与夹钳状态的可靠闭锁。

本文首先分析MEMS装配领域对微夹持工具的现实需求，明确设计目标与功能指标；进而介绍SMA材料特性、相变超弹性本构模型及微夹持机构设计的关键技