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碳化硅外延片自主可控：解决国产8英寸良率瓶颈与供应链.docx

碳化硅外延片自主可控：解决国产8英寸良率瓶颈与供应链.docx

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    碳化硅外延片自主可控：解决国产8英寸良率瓶颈与供应链

    TOC\o1-3\h\z\u32636一、行业背景与战略意义 3

    141311.1全球碳化硅产业发展现状与趋势 3

    200111.28英寸外延片对降低终端成本的关键作用 6

    87931.3实现供应链自主可控的国家战略需求 8

    8255二、国产8英寸碳化硅外延技术瓶颈分析 10

    97742.1晶体生长与外延工艺的技术难点 10

    22152.2缺陷控制与良率提升的核心挑战 12

    273522.3关键设备与材料的国产化替代滞后 14

    13348三、提升良率的关键

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