CN119748254A 用于晶圆边缘抛光的检测方法、装置及设备 （华海清科股份有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119748254A

(43)申请公布日2025.04.04

(21)申请号202411814618.1

(22)申请日2024.12.11

(71)申请人华海清科股份有限公司

地址300350天津市津南区咸水沽镇聚兴

道11号

(72)发明人路新春郭垒杨娴杨志冰

(51)Int.Cl.

B24B9/06(2006.01)

B24B49/04(2006.01)

H01L21/66(2006.01)

H01L21/68(2006.01)

权利要求书4页说明书9页附图6页

(54)发明名称

用于晶圆边缘抛光的检测方