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CN119786367A 晶圆图像扫描方法、装置、终端设备和可读存储介质 （深圳市新凯来工业机器有限公司）.pdfVIP

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  • 2026-07-14 发布于重庆
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CN119786367A 晶圆图像扫描方法、装置、终端设备和可读存储介质 （深圳市新凯来工业机器有限公司）.pdf

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119786367A

    (43)申请公布日2025.04.08

    (21)申请号202411805713.5

    (22)申请日2024.12.09

    (71)申请人深圳市新凯来工业机器有限公司

    地址518100广东省深圳市龙岗区平湖街

    道山厦社区中环大道中科谷产业园6

    栋1301

    (72)发明人张彬彬徐新阳邓想全

    (74)专利代理机构广州三环专利商标代理有限

    公司44202

    专利代理师贺蓓丽

    (51)Int.Cl.

    H01L21/66(2006.01)

    G01N21/95(2006.01)

    权利要求书

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