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误差预测模型训练数据标准

误差预测模型训练数据标准

一、（1）数据采集维度的标准化界定。误差预测模型的训练数据质量直接决定模型在实际应用场景中的泛化能力与预测精度，而数据采集维度的标准化则是构建高质量数据集的首要环节。在工业生产领域的误差预测场景中，数据采集需覆盖设备运行状态、原材料属性、环境变量、工艺参数四大核心维度，每个维度下需进一步细化采集指标。以半导体晶圆制造的光刻工序为例，设备运行状态维度需包含光刻机的激光波长稳定性、工作台定位精度、物镜数值孔径波动值、掩模台位移误差等12项核心指标，每项指标的采样频率需统一设定为100Hz，采样时长需覆盖设备从冷启动到热平衡再到稳定运行的