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基于PSD的高精度位移传感器：原理、设计与应用探索

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代工业生产和科学研究领域，位移测量作为一项关键的技术手段，发挥着举足轻重的作用。从精密机械加工中对刀具位置的精准控制，到航空航天领域对飞行器部件位移的严格监测；从光学仪器中对镜片位移的精确测量，到生物医学研究中对细胞位移的细致观察，位移传感器的身影无处不在。它能够将物体的位移信息转化为电信号或其他可测量的物理量，为系统提供精确的位置反馈，从而实现对各种设备和过程的精准控制与监测。

传统的位移传感器，如电阻式、电感式、电容式等，虽然在一定程度上满足了部分应用场景的需求，但它们往往受限于量程范围、分辨率、成本