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增强现实（AR）的光波导衍射光栅的加工误差对出瞳均匀性的影响仿真

摘要

增强现实（AR）显示技术正深刻改变人机交互方式，其中衍射光波导因其轻薄透光特性成为核心光学方案。然而，纳米级衍射光栅在加工过程中极易产生刻蚀深度与占空比误差，导致波导出瞳均匀性恶化与光效下降，严重影响用户视觉体验。本课题聚焦这一现实痛点，旨在通过时域有限差分（FDTD）法量化分析加工误差对光学性能的影响，并提取合理的加工公差范围。

本论文遵循工程递进思路展开。首先，绪论章剖析AR显示均匀性痛点并明确研究目标；其次，相关技术章论证FDTD算法在微纳光学仿真中的适用性；接着，需求分析章界定仿真系统的功能与精度指标；随后，总体设计与详细设计章构建了参数化建模、FDTD求解与均匀性评估的模块架构；最终，实现与测试章展示了仿真流程并验证了系统可靠性。

本设计的核心特色在于建立了“误差参数-衍射效率-出瞳均匀性”的量化映射模型，不仅揭示了误差敏感区间，更首次给出了面向国内主流微纳加工工艺的深度与占空比双约束公差建议，为AR波导工艺优化提供了直接指导。

第一章绪论

1.1研究背景

增强现实技术致力于将虚拟信息无缝叠加于真实世界，其核心载体——近眼显示系统正面临形态与性能的双重挑战。传统光学方案如棱镜或半透半反镜体积庞大，难以满足消费级眼镜的轻薄化需求。衍射光波导技术凭借其极薄的基板厚度与二维扩瞳能力，成