CN119601506A 一种用于制备带有异形孔结构的晶圆腐蚀设备 （苏州五方光电材料有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119601506A

(43)申请公布日2025.03.11

(21)申请号202411780176.3

(22)申请日2024.12.05

(71)申请人苏州五方光电材料有限公司

地址215000江苏省苏州市吴江区东太湖

生态旅游度假区(太湖新城)八坼长安

路88号

(72)发明人奂微微薛军明冯亚青

(74)专利代理机构苏州知产狮知识产权代理事

务所(普通合伙)32738

专利代理师肖珍

(51)Int.Cl.

H01L21/67(2006.01)

H01L21/687(2006.01)

H01L21/48(2006.01)

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