CN119694980A 硅通孔互连结构的制备方法 (甬江实验室).pdfVIP

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  • 2026-07-17 发布于重庆
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CN119694980A 硅通孔互连结构的制备方法 (甬江实验室).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119694980A

(43)申请公布日2025.03.25

(21)申请号202411795691.9

(22)申请日2024.12.06

(71)申请人甬江实验室

地址315201

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