CN120019890A 基板清洗装置的定位方法及输送控制方法 （Ａｇｃ株式会社）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120019890A

(43)申请公布日2025.05.20

(21)申请号202411632120.3

(22)申请日2024.11.15

(30)优先权数据

2023-1959762023.11.17JP

(71)申请人AGC株式会社地址日本

(72)发明人石川智章

(74)专利代理机构中原信达知识产权代理有限责任公司11219

专利代理师杨青安翔

(51)Int.Cl.

B08B1/12(2024.01)

B08B1/20(2024.01)

B08B1/34(2024.01)

B08B1/40(2024.01)

B08B3/02(2006.01)

B08B11/04(2006.01)

B08B13/00(2006.01)

H01L21/68(2006.01)

H01L21/66(2006.01)

H01L21/67(2006.01)

权利要求书1页说明书7页附图9页

(54)发明名称

基板清洗装置的定位方法及输送控制方法

(57)摘要

CN120019890A提供一种基板清洗装置的定位方法及输送控制方法。本发明涉及一种定位方法，进行基板清洗装置(100)中的输送辊(11)的定位，基板清洗装置(100)具备沿着路径线(PL