CN119725153A 晶圆清洗干燥工艺、晶圆干燥机及其清洗干燥结构总成 （北京华林嘉业科技有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119725153A

(43)申请公布日2025.03.28

(21)申请号202411783490.7

(22)申请日2024.12.06

(71)申请人北京华林嘉业科技有限公司

地址101111北京市大兴区北京经济技术

开发区科创十三街18号院30号楼1层

101室

(72)发明人耿彪徐鹏飞耿超郭生钢

王强

(74)专利代理机构北京华清迪源知识产权代理

有限公司11577

专利代理师裴玉龙

(51)Int.Cl.

H01L21/67(2006.01)

H01L21/687(2006.01)

F26B21/14(