《原子力显微术纳米薄膜厚度的方法》.pdfVIP

GB/TXXXXX—XXXX

纳米技术原子力显微术测定纳米薄膜厚度的方法

1范围

本标准规定了使用原子力显微术(AFM)测量纳米薄膜厚度的原理、测试条件、设备、样品、测试步

骤和数据处理。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文

件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本（包括所有的修改单）适用

于本文件。

GB/T31227-2014原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法

GB/T27418-2017测量不确定度评定与表示

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1

原子力显微术atomicforcemicroscopy,AFM

通过检测探针和样品表面的相互作用力（吸引力或排斥力）来控制探针和样品间的距离从而获得

表面形貌的扫描探针显微镜技术。

[GB/T27760-2011，定义3.1]

3.2

扫描长度scanlength

从开始到结束一次扫描的距离。