原创力文档“薄膜晶体管的制备及电学参数”调研报告
（青岛大学物理科学学院，应用物理系）
摘要：20世纪平板显示技术的出现，把人类带入了信息社会，人类社会从此发
生了质的飞跃。而平板显示的核心元件就是薄膜晶体管TFT(nlinFilm
Transistor)，一种在掺杂硅片或玻璃基底上通过薄膜工艺制作的场效应晶体管
器件。将半导体氧化物作为有源层来制作TFT用于平板显示中，不仅能获得较高
迁移率，器件性能优越，而且制造工艺简单、低温下可以获得，显示出了巨大的
应用前景。本文综述了薄膜材料的制备
“薄膜晶体管的制备及电学参数”调研报告
（青岛大学物理科学学院，应用物理系）
摘要：20世纪平板显示技术的出现，把人类带入了信息社会，人类社会从此发
生了质的飞跃。而平板显示的核心元件就是薄膜晶体管TFT(nlinFilm
Transistor)，一种在掺杂硅片或玻璃基底上通过薄膜工艺制作的场效应晶体管
器件。将半导体氧化物作为有源层来制作TFT用于平板显示中，不仅能获得较高
迁移率，器件性能优越，而且制造工艺简单、低温下可以获得，显示出了巨大的
应用前景。本文综述了薄膜材料的制备
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