T_ZJCX 0043-2024 等离子增强化学气相沉积设备用石墨舟.docxVIP

ICS29.045

CCSQ51

团体标准

T/ZJCX0043—2024

等离子增强化学气相沉积设备用石墨舟

Graphiteboatforplasmaenhancedchemicalvapordepositionequipment

2024-07-23发布2024-07-24实施

浙江省企业技术创新协会发布

T/ZJCX0043—2024

目次

前言 I

11范围

2规范性引用文件

3术语和定义 1

4产品结构与分类 2

52技术要求

65试验方法

7检验规则 6

8包装、标志、运输、贮存 8

9其他 9

T/ZJCX0043—2024

I

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。

本文件