工学自动检测技术及应用电容式传感器及其应用.pptxVIP

2026/7/191第4章电容式传感器本章学习电容式传感器的工作原理、测量转换电路及其应用。

2026/7/192电容式传感器定义：将被测非电量的变化转换为电容量变化的传感器。应用：位移、加速度、液位、振动及湿度。

2026/7/193§4.1电容式传感器的工作原理及结构形式

2026/7/194A——极板相对覆盖面；d——极板间距离；εr——相对介电常数；ε0——真空介电常数；ε0＝8.854×10-12(F/m)ε——电容极板间介质的介电常数。ε=ε0εrδSε一、工作原理由物理学可知，由两平行板组成的平行板电容器，如果不考虑边缘效应，其电容量为：dA

2026/7/195请思考：上式中，哪几个参量是变量？可以做成哪几种类型的电容传感器？两平行板组成的平行板电容器，电容传感器的基本理想公式为：

2026/7/196改变A、d、?三个参量中的任意一个量，均可使平板电容的电容量C改变。固定三个参量中的两个，可以做成三种类型的电容传感器。

2026/7/1971、变面积（A）式电容传感器图a是平板形直线位移式结构，其中极板1可以左右移动，称为动极板。极板2固定不动，称为定极板。图b是一个角位移式的结构。极板1的轴由被测物体带动而旋转一个角位移?度时，两极板的遮盖面积A就减小，因而电容量也随之减小。图