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FeCuNbSiBSiR复合薄膜在压应力下的力敏特性：机理、影响因素与应用前景

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技飞速发展的时代，传感器作为获取信息的关键部件，在各个领域发挥着举足轻重的作用。力敏传感器作为传感器家族中的重要一员，能够将物理力转换为可测量的电信号，广泛应用于工业自动化、汽车制造、医疗设备、航空航天、机器人技术等众多领域。在工业自动化生产线上，力敏传感器用于监测设备的运行状态、控制加工精度，确保生产过程的高效与稳定；在汽车领域，它可用于测量刹车踏板压力、轮胎压力以及车辆碰撞时的冲击力，为汽车的安全性能提供保障；在医疗设备中，力敏传感器能够精确测量人体各部位的压力分布，辅助医生进行疾病诊断和康复治疗；在航空航天领域，它对于飞行器的结构健康监测、飞行姿态控制等方面起着关键作用。随着各行业对设备性能和智能化程度要求的不断提高，开发高性能、高灵敏度的力敏传感器成为当前的研究热点和迫切需求。

FeCuNbSiBSiR复合薄膜是近年来发展起来的一种新型材料，它融合了多种元素的特性，具备良好的磁性、出色的机械性能以及优异的化学稳定性。这些独特的性能使得FeCuNbSiBSiR复合薄膜在先进传感应用中展现出广阔的应用前景。当该复合薄膜受到应变和压力变化时，其内部的电子结构和磁畴结构会发生改变，进而导致导电性能和磁性能发生显著变化。这种因外力作用而产生的物理性能变化