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超声波驱动的微型马达在微流控芯片中的流体泵设计

摘要

微流控芯片技术因试剂消耗少、分析速度快、集成度高等优势，在即时诊断、药物筛选和环境监测等领域展现出巨大潜力。然而，传统微流体驱动方案多依赖外部注射泵或气动装置，存在体积庞大、接口复杂、易产生脉动流等痛点，严重制约了芯片的便携化与集成化发展。

本文针对上述问题，设计了一种基于超声波驱动的微型马达流体泵系统，旨在为微流控芯片提供无接触、集成化且稳压的流体输运方案。设计过程遵循“需求分析→总体设计→详细设计→实现→测试”的工程递进思路。首先，分析了微流控芯片对流体驱动在微型化、稳定性和生物兼容性方面的具体需求；其次，完成了以压电换能器、声流道微结构、定子-转子耦合体为核心的系统总体架构设计；随后，详细设计了兰杰文振子型压电驱动器、行波声场生成算法及微型马达的机械结构；最后，搭建了原型系统并进行了性能测试。

测试结果表明，该微型泵可在0.5-5V驱动电压下实现0.1-10μL/min的稳定流量输出，流量波动低于3%，达到了无脉动、稳压输送的设计目标。本设计的核心创新在于利用超声波的行波声场非接触驱动微型转子，彻底消除了物理轴连接，为全集成式微流控芯片的片上流体动力源提供了一种全新的高可靠性解决方案。

关键词：超声波驱动；微型马达；微流控芯片；流体泵；无接触驱动；稳压输送

第一章绪论

1.1研究背景

微流控技术