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静电放电（ESD）测试设备在芯片可靠性认证中的标准与方法

摘要

本报告聚焦半导体测试领域中静电放电（ESD）测试设备在芯片可靠性认证环节的应用标准与技术方法，研究范围覆盖人体放电模型（HBM）、充电器件模型（CDM）等主流ESD测试模型的物理原理、测试设备在模拟静电冲击时的波形控制精度，以及相关国际标准体系的演进。

随着半导体工艺节点向3纳米及以下推进，栅氧层厚度降至数个原子层，芯片对静电放电的敏感度呈指数级上升。ESD失效已成为集成电路早期失效的首要诱因之一，推动ESD测试设备市场持续扩容。报告发现，全球ESD测试设备市场规模在2023年约为4.2亿美元，预计2028年将突