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CN119620537A 一种光敏聚酰亚胺光刻胶及其制备方法 （中山大学）.pdfVIP

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  • 2026-07-23 发布于重庆
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CN119620537A 一种光敏聚酰亚胺光刻胶及其制备方法 （中山大学）.pdf

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119620537A

    (43)申请公布日2025.03.14

    (21)申请号202411770951.7

    (22)申请日2024.12.04

    (71)申请人中山大学

    地址510275广东省广州市海珠区新港西

    路135号

    (72)发明人张艺孟惠发陈铠津蒋星

    刘四委许家瑞

    (74)专利代理机构广州骏思知识产权代理有限

    公司44425

    专利代理师吴静芝

    (51)Int.Cl.

    G03F7/004(2006.01)

    G03F7/027(2006.01)

    C08G73/12(2006.01)

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