CN119620714A 一种用于制程机台的预警方法、装置、电子设备及介质 （赛美特信息集团股份有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119620714A

(43)申请公布日2025.03.14

(21)申请号202411766442.7

(22)申请日2024.12.04

(71)申请人赛美特信息集团股份有限公司

地址200100上海市闵行区中春路7001号7

幢1楼101室

(72)发明人王笑双姜允虎

(74)专利代理机构北京超凡宏宇知识产权代理

有限公司11463

专利代理师毕翔宇

(51)Int.Cl.

G05B19/418(2006.01)

权利要求书2页说明书9页附图6页

(54)发明名称

一种用于制程机台的预警方法、装置、