真空技术测量真空泵性能的标准方法第5部分非蒸发吸气剂（NEG）真空泵标准立项发展报告.docx

真空技术测量真空泵性能的标准方法第5部分：非蒸发吸气剂（NEG）真空泵标准立项发展报告

EnglishTitle:StandardizationDevelopmentReport:Vacuumtechnology—Standardmethodsformeasuringvacuum-pumpperformance—Part5:Non-evaporablegetter(NEG)vacuumpumps

摘要

本报告围绕国际标准ISO21360-5:2023《真空技术测量真空泵性能的标准方法第5部分：非蒸发吸气剂（NEG）真空泵》的立项与发展展开系统