CN119626939A 一种制造电子器件的装置和方法 (清华大学).pdfVIP

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  • 2026-07-23 发布于重庆
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CN119626939A 一种制造电子器件的装置和方法 (清华大学).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119626939A

(43)申请公布日2025.03.14

(21)申请号202411755370.6

(22)申请日2024.12.02

(71)申请人清华大学

地址100084北京市海淀区清华园1号

(72)发明人柴智敏路新春李泽铜王广基

(74)专利代理机构北京林达刘知识产权代理事

务所(普通合伙)11277

专利代理师李茂家闫俊萍

(51)Int.Cl.

H01L21/67(2006.01)

H10D30/67(2025.01)

H10D30/01(2025.01)

H01B13/00(2006.01)

H01B1/02(2006.01)

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