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- 2026-07-27 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119764238A
(43)申请公布日2025.04.04
(21)申请号202411762103.1
(22)申请日2024.12.03
(71)申请人中国科学院上海微系统与信息技术
研究所
地址200050上海市长宁区长宁路865号
(72)发明人刘强俞文杰
(74)专利代理机构上海光华专利事务所(普通
合伙)31219
专利代理师余明伟
(51)Int.Cl.
H01L21/683(2006.01)
权利要求书2页说明书7页附图4页
(54)发明名称
一种半导体薄膜的转移方法
(57)
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