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CN119778926A 半导体设备用高纯度氦气管路气体抽空置换方法及系统 （安徽万瑞冷电科技有限公司）.pdfVIP

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  • 2026-07-25 发布于重庆
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CN119778926A 半导体设备用高纯度氦气管路气体抽空置换方法及系统 （安徽万瑞冷电科技有限公司）.pdf

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119778926A

    (43)申请公布日2025.04.08

    (21)申请号202411754395.4F17D1/065(2006.01)

    F17D3/01(2006.01)

    (22)申请日2024.12.02

    F17C13/00(2006.01)

    (71)申请人安徽万瑞冷电科技有限公司F17C13/04(2006.01)

    地址230088安徽省合肥市高新区海棠路

    189号

    (72)发明人王浩程祥

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