真空吸笔使用规范专题培训课件.pptVIP

使用真空吸笔的目的一、避免Wafer的正面在传递和转移中和其他物体有物理接触。从而把Particle和Scratch等造成的不良降到最低。二、用手和镊子夹去Wafer的情况要尽量避免和杜绝。

正确的使用方法示范Step1:首先把Cassette放置在作业台上，并保证放置平稳，方便操作。放置平稳，方便操作

正确的使用方法示范Step2:认真检查Cassette放置方向是否正确。Cassette内的Wafer是否有方向防反的现象。检查Wafer的方向是否正确，确保方向一致。

正确的使用方法示范Step3：拿紧真空吸笔，用食指夹紧开关的前端，拇指推动开关。拿稳吸笔，用拇指控制开关。

正确的使用方法示范Step4:笔头平行轻触Wafer背面，并确保笔头完全和Wafer接触，吸稳Wafer。笔头完全和Wafer接触，防止吸力不足而导致滑落。

正确的使用方法示范Step5:以Wafer的背面为着力点，垂直将Wafer抽出。速度保持平稳。垂直平稳抽出，以Wafer背面受力，并保持Wafer正面不受力。

以Wafer的背面为受力点，避免正面和Cassette摩擦。

正确的使用方法示范Step6:将Cassette倾斜一定角度，将Wafer对好要放置的位置。倾斜一定角度，并将Wafer对准位置，避免错位。

Step7:以Wafer的边缘和背面为受力点，插入