CN119650451A 一种光电晶圆缺陷的检测方法 (北京理工大学).pdfVIP

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  • 2026-07-26 发布于重庆
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CN119650451A 一种光电晶圆缺陷的检测方法 (北京理工大学).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119650451A

(43)申请公布日2025.03.18

(21)申请号202411726865.6

(22)申请日2024.11.28

(71)申请人北京理工大学

地址100081北京市海淀区中关村南大街5

(72)发明人陈梦璐赵雪马丽莎郝群

(74)专利代理机构北京盛广信合知识产权代理

有限公司16117

专利代理师周健

(51)Int.Cl.

H01L21/66(2006.01)

G01N21/91(2006.01)

权利要求书1页说明书10页附图6页

(54)发明名称

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