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扫描电镜与能谱分析技术在材料研究中的应用.pptx

扫描电镜与能谱分析技术在材料研究中的应用.pptx

    扫描电子显微镜和能谱分析技术

    (ScanningElectronMicroscopy

    /EnergyDispersiveSpectrometer)

    （SEM/EDS）

    安泰科技研发中心

    郭金花

    ;主要内容;1扫描电镜的作用：;2扫描电镜的工作原理;

    样品表面激发的电子信号;二次电子、背散射电子和特征X射线;背反射电子：产生范围在100nm-1μm深度

    能量较高，不大于和等于入射电子能量E0;3扫描电镜的主要结构;搜集二次电子时，为了提升搜集有效立体角，常在搜集器前端栅网上加上+2

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