CN119601486A 晶圆检测方法及晶圆检测装置 （西安奕斯伟材料科技股份有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119601486A

(43)申请公布日2025.03.11

(21)申请号202411738646.X

(22)申请日2024.11.29

(71)申请人西安奕斯伟材料科技股份有限公司

地址710000陕西省西安市高新区西沣南

路1888号1-3-029室

申请人西安欣芯材料科技有限公司

(72)发明人苏旭文

(74)专利代理机构北京银龙知识产权代理有限

公司11243

专利代理师张博

(51)Int.Cl.

H01L21/66(2006.01)

H01L21/67(2006.01)

H01L21/687(2006.01)