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自动化系统和集成制造用数字孪生框架第100部分:半导体晶锭生长过程管理用例标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:Automationsystemsandintegration—Digitaltwinframeworkformanufacturing—Part100:Usecaseonmanagementofsemiconductoringotgrowthprocess

摘要

本报告旨在全面阐述国际标准ISO/TR23247-100:2025《自动化系统和集成制造用数字孪生框架第100部分:半导体晶锭生长过程管理用例》的立项背景、核心技术内容、行业应用价值及未来发展前景。随着第四次工业革命的深入发展，数字孪生技术已成为推动制造业数字化转型的关键驱动力，但在半导体等高端制造领域的细分应用标准仍存空白。该标准作为ISO23247系列的重要组成部分，聚焦于半导体产业链上游的核心环节——晶锭生长过程管理，通过定义具体用例，明确了数字孪生技术在半导体材料制备领域的实施路径、数据交互要求和系统架构。报告深入分析了该标准提出的背景，即半导体制造对过程控制精度、良率提升和成本降低的迫切需求，以及现有数字孪生通用标准在特定细分领域指导性不足的现状。报告核心指出，该标准提供的用例模型不仅为半导体晶