原创力文档摘要
摘要
光集成技术与超灵敏检测技术的快速发展，对光波导的低损耗、高稳定性以
及高灵敏度表面增强拉曼散射（SERS）基底提出了迫切需求。离子束技术作为
一种重要的材料改性技术，凭借其工艺参数丰富、技术成熟、高可控性、均匀性
好等优点，不仅能够实现光学材料折射率的调控，还可调控二维异质结的层间耦
合作用，为光波导的高质量制备以及SERS基底的性能提升提供了高效、可靠的
方法策略。本文以碳离子辐照技术为核心，开展了稀土掺杂晶体光
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