CN119638379A 一种提高高纯氧化铝静电卡盘排胶率的方法 （君原电子科技(海宁)有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119638379A

(43)申请公布日2025.03.18

(21)申请号202411744694.X

(22)申请日2024.12.01

(71)申请人君原电子科技（海宁）有限公司

地址314400浙江省嘉兴市海宁市海宁经

济开发区谷水路306号天通泛半导体

产业园2幢

(72)发明人李君叶善成石锗元洪元杓

陈振宁肖伟

(51)Int.Cl.

C04B35/10(2006.01)

C04B35/622(2006.01)

C04B35/638(2006.01)

H01L21/683(2006.01)