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洁净车间臭氧消毒系统验证方案.docx

洁净车间臭氧消毒系统验证方案.docx

    洁净车间臭氧消毒系统验证方案

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、验证目的 3

    二、验证范围 4

    三、验证职责 5

    四、系统概述 7

    五、文件与标准 8

    六、验证前提条件 11

    七、风险评估 13

    八、人员培训 17

    九、仪器与设备 21

    十、安装确认 23

    十一、功能确认 26

    十二、臭氧发生系统确认 29

    十三、气体输送系统确认 31

    十四、浓度监测系统确认 34

    十五、分布均匀性确认 35

    十六、密闭性确认 37

    十七、消毒效果确认 38

    十八、残留臭氧消散确认 40

    十九、报警与联锁确认 42

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