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标题：洁净室和相关受控环境第14部分：空气中颗粒浓度对设备使用适用性的评估标准立项发展报告
EnglishTitle:StandardizationDevelopmentReport:Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments—Part14:Assessmentofsuitabilityforuseofequipmentbyairborneparticleconcentration
摘要
关键词
洁净室；受控环境；空气中颗粒浓度；设备适用性；ISO14644；污染控制；标准化；认证
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