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半导体芯片生产设备维护保养制度.docx

半导体芯片生产设备维护保养制度.docx

    半导体芯片生产设备维护保养制度

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、总则 3

    二、维护职责划分 5

    三、维护保养分类 6

    四、主要生产设备维护范围 8

    五、维护保养标准 11

    六、维护计划管理 14

    七、日常维护保养要求 15

    八、定期维护保养内容 19

    九、预防性维护实施规范 21

    十、预测性维护实施规范 23

    十一、故障后维护处置流程 25

    十二、备件库存管理要求 27

    十三、维护耗材与工具管理 28

    十四、维护人员资质与培训要求 30

    十五、维护作业安全规范 32

    十六、维护质量管控措施 34

    十七、维护记

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