CN120237059A 一种单晶硅片清洗系统及方法 (广东金湾高景太阳能科技有限公司).pdfVIP

  • 2
  • 0
  • 约2.32万字
  • 约 17页
  • 2026-08-05 发布于重庆
  • 举报

CN120237059A 一种单晶硅片清洗系统及方法 (广东金湾高景太阳能科技有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120237059A

(43)申请公布日2025.07.01

(21)申请号202510404482.5H01L21/02(2006.01)

(22)申请日2025.04.01

(71)申请人广东金湾高景太阳能科技有限公司

地址519040广东省珠海市金湾区三灶镇

湖滨路1566号

申请人高景太阳能股份有限公司

(72)发明人肖兵全晓冬毕喜行杜志超

郭翔

(74)专利代理机构北京康信知识产权代理有限

责任公司11240

专利代理师吴焕焕

(51)Int.Cl.

H01L21/67(2006.01)

您可能关注的文档

文档评论(0)

1亿VIP精品文档

相关文档