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晶圆厂洁净室空调系统优化方案.docx

晶圆厂洁净室空调系统优化方案.docx

    晶圆厂洁净室空调系统优化方案

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、项目背景与优化目标 3

    二、洁净室环境控制要求 4

    三、空调系统现状分析 7

    四、系统优化总体思路 9

    五、送风组织优化设计 10

    六、回风组织优化设计 13

    七、新风量配置优化 14

    八、温湿度控制策略 16

    九、压差控制策略 19

    十、过滤系统优化 20

    十一、风机能效提升方案 22

    十二、冷源系统优化 24

    十三、热回收利用方案 26

    十四、变频调节应用 27

    十五、末端控制单元优化 29

    十六、区域分区管理方案 32

    十七、气流均匀性优化

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