电子级水测试方法通则
1范围
本文件规定了电子级水的采样、贮存与运输及报告的格式。
本文件适用于EWⅠ~EW-Ⅳ级电子级水。
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T11446.1电子级水
GB/T14666分析化学术语
GB/T25915.1-2021洁净室及相关受控环境第1部分:按粒子浓度划分空气洁净度等级
3术语和定义
GB/T11446.1和GB/T14666界定的以及下列术
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