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电子级水中痕量金属的电感耦合等离子体质谱测试方法

1范围

本文件规定了电感耦合等离子体质谱仪测定电子级水中痕量金属铜、锌、镍、铁、铅、钠、钾、铝、锑、砷、钡、硼、镉、钙、铬、锂、镁、锰、锶、锡、钛和钒的测试方法。

本文件适用于电子级水中痕量金属铜、锌、镍、铁、铅、钠、钾、铝、锑、砷、钡、硼、镉、钙、铬、锂、镁、锰、锶、锡、钛和钒含量的测定，各元素得测定范围见表1。

表1电子级水中痕量金属杂质含量测量范围

单位为纳克每毫升

元素名称

元素符号

测量范围

铝

Al

1×10-3～2×103

锑

Sb

1×10-3～2×103

砷

As

1×10-3～2×103

钡

Ba

1×10-3