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- 2026-08-10 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119555644A
(43)申请公布日2025.03.04
(21)申请号202411694214.3G03F7/42(2006.01)
C23C30/00(2006.01)
(22)申请日2024.11.25
(71)申请人南京信息工程大学
地址210044江苏省南京市浦口区宁六路
219号
(72)发明人戚志鹏刘博李莹宋秀敏
任建新毛雅亚刘少鹏赵立龙
王凤吴泳锋孙婷婷
(74)专利代理机构北京同辉知识产权代理事务
所(普通合伙)
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