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12122助能材科2014年第12期(45)卷

文章编号：1001-9731(2014)12-12122-06

基于金属催化化学腐蚀的硅纳米线可控制备

陈梓铭1,王志恒1,陈颖聪1,陈津桥1,肖经洋1,姚日晖1,2

(1.华南理工大学材料科学与工程学院，广州510640;2.发光材料与器件国家重点实验室，广州510640)

摘要：硅纳米线由于其独特的光电特性，被认为是最具前景的光电材料之一。本文关注于使用金属催化化学腐蚀法制备硅纳米线当中各种可控参数的影响，成功地完成了硅纳米线制备。研究发现，高电镀液浓度与长电镀时间都会形成小密度的硅纳米线阵列；而腐蚀液浓度控制着腐蚀速率与硅纳米线的形貌。腐蚀时间对硅纳米线长度和密度都具有一定的影响；而使用氮气干燥能够改善硅纳米线的聚集情况。

关键词：金属催化化学腐蚀；硅纳米线；制备；可控参数

中图分类号：TM23文献标识码：A

DOI:10.3969/j.issn.