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- 2026-08-12 发布于北京
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21颅坩埚熔融法氧化锆晶体生
长技术
E.E.洛莫诺娃,V.V.奥西科俄学院究所激
光材料与技术俄罗斯莫斯科
21.1引言
纯二氧化锆(ZrO)存在三种同质异形体。ZrO熔体在2680◦C时结晶为立方晶相
22
(Fm3m,萤石结构),相在2370
该
◦C转变为四方晶相(P42/nmc),并在1160◦C进一步转变为单斜晶相(P21C,斜
锆石结构)。因此无法直接从熔体中生长纯氧化锆单晶。幸运的是,立方晶相
可通过掺入MgO、CaO、Y2O3等稳定剂实现稳定化。当这些稳定剂添加量达
到10摩尔%以上(最高40摩尔%)时,会在ZrO2的氧亚晶格中形成大量空位,
从而立方相在冷却时发生相变:立方氧化锆(CZ)由此可保持稳定直至室
温。
氧化锆(CZ)的高及熔体的学活性使其无法在常规金属或石墨
坩埚中熔融结晶。20世纪60年代末,一种被称为冷坩埚直接射频熔融
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