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《薄膜材料》

一、什么是薄膜材料？

薄膜材料：一层为几纳米（单层）至几微米的材料利用特殊的技术手段人为制得的，一维尺度显著小于另外两

维尺度，具有特殊性能与用途的材料。

特点：1.一般并不是单独存在的；2.结合了不同材料不同特性；3.种类繁多：4.需用特殊制备方法和

研究方法

二、薄膜材料的分类？

分类：

1.涂层式薄膜

a.保护图层b.装饰图层

2.薄膜

a.光电子学b.微电子学c.他功能

三、薄膜材料的制备工艺？

制备技术：

1.湿式成膜

a.电镀b.化学镀c.阳极氧亿d.涂覆法e.溶胶凝胶法

2.干式成膜

a）CVD：热CVD、光CVDb）PVD：真空蒸镀、溅射镀膜

四、薄膜材料的应用？

五、气体

》气体分子的平均运动速度也只与T/M的平方根成正比；

》温度越高，气体分子的相对原子质量越小，则分子的平均运动速度越大;

》常温下，一般